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UNIPOL-1203 化学机械磨抛机

应用范围 :UNIPOL-1203 化学机械磨抛机,适用于CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。

产品型号 :UNIPOL-1203

上架时间 :2019-08-21

安装尺寸:550mm×700mm×420mm

重量 :约74Kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       UNIPOL-1203 化学机械磨抛机,适用于CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。

 性能指标和基本配置
产品名称 UNIPOL-1203 化学机械磨抛机
安装条件 本设备要求在海拔 1000m 以下,温度 25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh 下使用。
1、水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及下排水
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:无
4、工作台:尺寸 800mm×600mm×700mm,承重200kg 以上
5、通风装置:不需要
主要特点 1、超平不锈钢抛光盘(平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。
2、超精旋转轴(托盘端跳小于 0.01mm)。
3、设有两个加工工位,可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。
6、配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。
技术参数 主机部分

1、电源:220V

2、功率:450W

3、磨抛盘转速:10-240rpm

4、磨抛工位:2 个

5、摆臂调节档位:1-15 档

6、托盘端跳:0.008/250mm

7、不锈钢磨抛盘:φ300mm

8、载样盘:φ105mm

9、修盘环:φ127.5mm


GPC-100A 精密磨抛控制仪

1、载样盘直径:Ø103mm

2、载样盘轴向行程:12mm

3、数显表精度:0.001mm

4、载样盘可调加载压力:0.1kg-2.1kg

5、压力确认仪有效量程:1g-5000g

6、样品装卡方式:真空吸附

7、承载样件尺寸:直径≤ 103mm、厚度≤12mm

8、尺寸:外径 146mm,高266mm


自动滴料器

SKZD-2 滚筒滴料器

1、容积:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm;重量:3kg

SKZD-4 自动滴料器

1、加液泵:4 个

2、料液瓶:600ml/瓶

3、计时范围:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm;重量:10kg



产品规格 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg
标准配件 1
铸铁研磨盘
1个
1
2 不锈钢抛光盘
1个
1
3 载物盘
1个
1
4 修盘环
1个
1
5 SKZD-2 滴料器
1个
1
6 SKZD-4 自动滴料器
1个
1
7 GPC-100A 精密磨抛控制仪
1个
1
8 抛光垫(磨砂革、合成革、聚氨酯)
各1片
1
9 刚玉研磨微粉
0.5kg
1
10 石蜡棒
4个
1
可选配件 1、YJXZ-12 搅拌循环泵
2、精密测厚仪
3、陶瓷研磨盘
4、玻璃研磨盘
5、磁性树脂金刚石研磨片
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