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OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三温区CVD系统

应用范围:高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4--C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统,其炉管直径为4″,最高温度可达1200℃,极限真空可达 10-5 torr,混气系统可对1-9种气体进行精确的混合,然后导入管式炉内部,可用来研究气体环境对材料的影响。

产品型号:OTF-1200X-4--C9HV

上架时间:2019-04-16

重量:100kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询
       高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统,其炉管直径为4″,最高温度可达1200℃,极限真空可达 10-5 torr,混气系统可对1-9种气体进行精确的混合,然后导入管式炉内部,可用来研究气体环境对材料的影响。
  功能特点
  • 炉体采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面的温度<60℃。
  • 保温材料采用高纯氧化铝纤维,减少热量损失,且内膛涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,延长使用寿命。
  • 设有三个温区,可独立控温,可设置50段升降温程序,并设有过热和断偶保护。
  • 供气系统与真空机组置于移动架内,方便移动。
  • 真空系统采用一键操作,按下“start”键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动,待真空度达到 10-2mbar后分子泵自动启动)。
  • 根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率
  • 已通过CE认证。
  技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
工作台 尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
通风装置 需要
管式炉 电源 AC 208V-240V单相 50Hz/60Hz 7KW
炉管 高纯石英管,外径Ø100mm×内径Ø92mm×1400mm
加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝,表面涂有氧化锆
加热区 温区I长220mm,温区II长440mm,温度III长220mm,总长880mm
恒温区 500mm(三个温区设为同一温度时)
工作温度 最高1200℃,连续工作1100℃
最大升温速率 ≤20℃/min
控温精度 ±1℃
热电偶 3根K型热电偶
高真空机组 输入电源 AC110V或AC220V可切换 50Hz/60Hz
消耗功率 110W
壳体尺寸 600mm×600mm×700mm
最大承重量 270kg
抽气速率 N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s
工作范围 1000mbar-<10-7mbar
极限真空度 10-5torr
数字式真空显示计 10-8mbar-103mbar
质量流量混气系统 质量流量计 9通道精密质量流量计
流量计范围 10scc-1000scc三个,20scc-200scc三个,30scc-10scc三个
压力表 3个,用来检测混合气体压力
炉体尺寸 550mm×380mm×520mm
高真空机组尺寸 600mm×600mm×700mm
质量流量混气系统尺寸 600mm×600mm×700mm
重量 100kg
真空配件 1 不锈钢真空密封法兰 2个
2 精密针阀 2个
3 1/4″软管接头 1个
4 高温硅胶O型密封圈(最高可承受300℃) 6个
5 氧化铝管堵 1套
6 KF-40真空波纹管 1根
7 KF-40快速卡箍 3个
8 KF-25卡箍 2个
可选配件 防腐型数字式真空显示计
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