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GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪

应用范围:GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。

产品型号:GSL-1100X-SPC-16-3

上架时间:2019-04-16

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       GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
  功能特点
  • 设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
  • 通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效果。
  • 钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
  • 陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
  • 根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
  • 已通过CE认证。
  技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
工作台 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通风装置 不需要
Ø45mm
真空室 Ø160mm×120mm
最高真空度 ≤4×10-2mbar
靶位 3个
最大电流 50mA
可设定最长时间 900s
微型真空气阀 连接Ø3mm软管
最高电压 1600V DC
机械泵 2L/s
可选配件 金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件 1 金靶材 1个
2 银靶材 1个
3 铝靶材 1个
4 进气针阀 1个
5 保险丝 2个
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