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PCE-6 6英寸小型等离子清洗机

应用范围:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

产品型号 :PCE-6

上架时间 :2018-09-03

安装尺寸:400mm×300mm×300mm

重量:10.2kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 性能指标和基本配置
主要特点

● 拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片。
● 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
● 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
● 设有一个三通阀,可大体控制进气流量。

主要参数

● 输出功率:7.2W、10.2W、29.6W
● 总功率:<600W
● 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
● 电源:AC220V  50
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等离子腔室

● 高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
● 带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察
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控制面板

控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。
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等离子清洗及刻蚀的方法

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惰性气体

● 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)
● 等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

可选配件 ● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合
● 您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片
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外形尺寸

400mm×300mm×300mm

净重

10.2kg

使用注意事项

正压会损坏等离子石英室

质量认证

CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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