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VTC-2DC 2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪

应用范围:VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。

产品型号 :VTC-2DC

上架时间 :2019-08-19

安装尺寸:540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H

重量:70 kg(不包括泵)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。

 性能指标和基本配置
用直流磁控溅射仪可获得单相Al膜 1
主要参数

● 输入电源:220V AC 50Hz
● 输出电压:600 VDC
● 输出功率:最大500W
● 整机功率:1000W(包括真空泵)

溅射腔体

● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H(配置直靶头)
● 尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 290 mm H(配置带角度倾斜靶头)
● 密封法兰:直径为165 mm,采用金属制作,密封采用O形密封圈

溅射头&样品台

溅射头安装靶材直径为2英寸,同时可选配1英寸溅射头
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1英寸靶头 2英寸靶头
● 仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离可调
● 样品台可加热,加热温度RT-500℃(RT为室温)
● 安装有一可手动操作的挡板
● 最大可制膜的直径为:2英寸(标配2英寸,如果需要更大尺寸请与我们销售联系)
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真空系统

● 安装有KF25真空接口
● 数字真空压力表(Pa)
● 此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)
● 采用机械泵< 3.8E-2 Torr(参考值,详情请点击)
● 采用涡旋分子泵< 3.8E-5 Torr(参考值,详情请点击)
● 可在雷速体育app官方下载选购各种真空泵
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进气

● 设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶
● 设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

靶材

● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度)
● 可在雷速体育app官方下载选购各种靶材
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薄膜测厚仪(可选)

可在雷速体育app官方下载选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
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产品尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H
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净重 70 kg(不包括泵)
使用提示

● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜
● 为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)
● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。
● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。
● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。
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    超声波清洗机          等离子清洗机             蒸镀仪                      手套箱

警告

● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。
● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

认证

1CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

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