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SP-50KT/SP-85KTC 温控型真空感应熔炼炉系列

应用范围:温控型感应加热/熔炼系统,带进料前级系统和熔炼搅拌装置。石英前级腔室可将各种原材料导入到熔炼坩埚内,而不影响主腔室的环境。

产品型号 :SP-50KT/SP-85KTC

上架时间 :2018-07-25

安装尺寸:700L* 1300W* 1200H

重量:100Kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       温控型感应加热/熔炼系统,带进料前级系统和熔炼搅拌装置。石英前级腔室可将各种原材料导入到熔炼坩埚内,而不影响主腔室的环境。

 性能指标和基本配置
型号

SP-50KT
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SP-85KTC
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感应电源

● 工作电压:380V,50Hz,三相
● 空气开关:需要100A空气开关
● 最大输入功率: 15KW
● 输出频率:30-80kHz
● 保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护
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温控系统和热电偶

● 精密数显温控系统,采用PID调节方式
● 可设置30段升降温程序
● 带有过热和断偶保护
● 控温精度:±5 ºC

● 连续工作温度.: 1000ºC~1900ºC
● 最高温度:2000ºC(<30min)
● 升温速率:
1度/秒    1000-1200ºC;
1度/2秒  1200ºC-1500ºC ;
1度/4秒  1500ºC-2000ºC
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石墨坩埚,耐火材料和防护罩

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● 坩埚是用来感应加热和熔化金属 ● 高纯石墨坩埚:114mm(内径) * 100mm(外径) *142mm(深),坩埚是用来感应加热和熔化金属
● 最大容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2 ● 最大容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
● 可熔炼物料的质量:最多0.6Kg(按纯铁的密度计算) ● 可熔炼物料的质量:最多4Kg(按纯铁的密度计算)

● 可选:为对晶片热处理,可定制石墨样品台,最大可放置晶片尺寸为1.5''O.D * 1/8''T,因为石墨导热率非常高,所以可使放置的晶片受热均匀
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● 保温层:,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃) ● 保温层:,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃)
● 注意: 石墨坩埚是易耗件 ● 注意: 石墨坩埚是易耗件
密封法兰和石英腔体

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● 尺寸:130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L) ● 尺寸:
● 顶部法兰: 采用不锈钢铰链法兰,带有一1/4”的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀 ● 顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰,带有一1/4”的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀
● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接 ● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接

● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管,以便与真空泵相连接
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● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管,以便与真空泵相连接
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真空计

● 防腐真空计,测量范围3.8*10E-5托
● 一个输出电压24v、1A直流电源适配器。适配器的输入电压是单相110~240v。
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浮子流量计

紧凑型直读,100-1000scc/min。精度:4%。

泄压阀

为了安全考虑,在腔体内安装泄压阀,当压力大于0.02MPa时,阀门会自动释放压力,保证安全。

循环水冷机(选配)

● 温度范围:5~30℃
● 水流量:16L/min
● 水箱:不锈钢材质,容积为12L
注意:建议使用特定的冷却液以获得最佳性能。在几次加热试验后,等待几分钟冷却属于正常现象
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真空泵(选配)

● 标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵
● 电压:AC 208-240V 50Hz,单相
● 最大功率:0.4KW
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另有多种真空泵,详情请点击下图选择
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产品尺寸

整体机器外形尺寸:700(L)* 1300(W)* 1200(H)
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净重

100Kg

应用

● PVT(物理蒸气运输)系统通过改变一个合适的坩埚,使其能够成为生长长型碳化硅晶体,请点击下面的图片或问我们的工程师如何
● 此设备可改为RTP(快速热处理炉)和混合物理化学气相沉积(HPCVD)系统,请点击下面的图片查看,如您有任何特殊需求可联系我们
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注意事项

● 为了保护石墨坩埚和C热电偶,在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM
● C型热电偶是耗材,不在我们的保修范围内
● 熔融时间和温度与材料、坩埚、耐火材料绝缘等有关。如果你不知道感应加热器是否能熔化你的样品,请联系我们的工程师咨询
● 感应熔融系统的设计是在真空和低压下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi
● 必须在气缸上安装减压阀,将压力限制在3psi以下,以保证安全运行。
● 当出气口关闭,炉腔内存在正压状态时,不要加热炉子。在加热过程中,必须使用压力表来密切监测室内情况;一旦燃烧室压力超过3psi,请立即打开气体释放阀门,以防止不可预见的损坏

认证

如果客户需要通过MET认证,需自行支付认证费用,具体价格请联系我们的销售代表
认证标准包括:1感应加热器:UL61010-1 & UL499;2真空泵:UL1450;3冷水机组:UL61010 & UL1995
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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