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OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉

应用范围:OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉,其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置(1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动,同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管(SWCNTs)。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。 

产品型号 :OTF-1200X-50-DSL 

上架时间 :2018-07-23 

安装尺寸:315 x 300 x 380 mm (炉体) 

                 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形) 

                 360 x 180 x 300 mm(电器控制柜)

重量:100Kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉,其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置(1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动,同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管(SWCNTs)。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。

 性能指标和基本配置
炉体结构

● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统
● 一个滑轨安装在炉体下端,可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数
● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层,可提高加热效率和延长使用寿命。

功率

1.5KW

电压

AC220V,单相

最高共工作温度

1200℃(≤1小时)

连续工作温度

1100℃

加热区域

● 加热区:200mm(单温区)
● 通过管堵位置和炉体移动可形成想得到的温度梯度
1 1

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有高温氧化锆涂层,可延长其使用寿命)

炉管

● 高纯石英管
● 尺寸:50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 仪器加热前,必须放入管堵,以防止热量辐射影响法兰的密封性

温控系统

● 采用PID方式调节温度,可设置30段升温、降温和保温程序
● 设置有温度过高和断偶保护系统
● 控温精度:±1℃
● 可选测PC控制软件,将升温程序和温度曲线导入到电脑中
1 1

炉体滑动控制系统

● 触摸屏控制
● 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态,在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度,但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。
● 含蜂鸣报警器,当炉体触碰到限位开关就会产生报警,并切断控制电路,使炉体停止移动。
● 可显示高温炉内的炉温,与之通讯

密封法兰

● 仪器中配有一套不锈钢密封法兰(上面已安装不锈钢针阀和机械压力表)
● 法兰上有一Φ6.35的铠装孔,可将热电偶插入到炉管中,更准确地测量样品的实际温度
1

石英气体喷嘴

可选配石英气体喷嘴,将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,可有效减少副反应发生,实现高端CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺(ALC CVD)或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
1

真空度

● 10E-5 torr (用分子泵)
● 10E-2 torr (用直联式机械泵)
1 1

滑轨长度

1200mm

产品尺寸

● 315 x 300 x 380  mm (炉体)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形)
● 360 x 180 x 300 mm(电器控制柜)

重量

100Kg

质量认证

CE certified
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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