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OTF-1200X-S-HPCVD 1200℃坩埚可移动型管式炉

应用范围:OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩埚可炉管内移动(靠步进电机控制)的小型开启式管式炉。炉管直径为50mm,设备最高工作温度为1200℃。

产品型号 :OTF-1200X-S-HPCVD

上架时间 :2018-07-17

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩埚可炉管内移动(靠步进电机控制)的小型开启式管式炉。炉管直径为50mm,设备最高工作温度为1200℃。

 性能指标和基本配置
高温炉部分

● 炉体设计为开启式,以便于更换炉管
● 工作电源:208 - 240 VAC, 50/60Hz
● 最大功率为:2KW
● 最高工作温度:1200℃(<1hr)
● 连续工作温度:1100℃
● 加热区长度:200mm
● 炉管:高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)
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温度控制系统

● 采用PID30段程序化控温,其控温精度为+/-1℃
● 设有过热和断偶保护
● 热电偶采用K型热电偶
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真空密封

● 采用KF结构密封法兰,硅胶密封圈密封
● 法兰上安装有一机械压力表
● 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接(不锈钢波纹管最大伸缩幅度为150mm)
● 真空度:10-2Torr(用机械泵抽)  10-5Torr(用分子泵抽)
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坩埚移动机构&PLC控制

● 一个直径为1/4"的欧米伽铠装热电偶(K型),通过法兰伸入到炉管中,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度。
● 通过步进电机移动炉管内的坩埚(样品台),最大行程为100mm,移动精度为1mm
● 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置,坩埚移动速度为180mm/min(更精确的移动速度,可与雷速体育app官方下载(中国)有限公司联系定制,需额外收费)
● 可观察下图,了解坩埚与热电偶的安装方法
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最大加热速率和冷却速率

可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到最大的加热速率,也可将样品迅速移除高温的炉体,来得到最大的降温速率

             最大加热速率:                                                         最大降温速率
             10℃/sec (150℃ - 250℃);                                      10℃/sec (950℃ - 900℃);
              7℃/sec (250℃ - 350℃);                                        7℃/sec (900℃ - 850℃);
              4℃/sec (350℃ - 500℃);                                        4℃/sec (850℃ - 750℃);
              3℃/sec (500℃ - 550℃);                                        2℃/sec (750℃ - 600℃);
              2℃/sec (550℃ - 650℃);                                        1.5℃/sec (600℃ - 500℃);
              1℃/sec (650℃ - 800℃);                                        1℃/sec (500℃ - 400℃);
              0.5℃/sec (800℃ - 1000℃)                                     0.5℃/sec (400℃ - 300℃);
                                                          1

可选配件

● 可选购手动挡板阀
● 防腐型数显真空计
● 快速连接法兰,以方便于放置样品
● 多路质量流量计控制的混气系统,用于CVD和DVD实验
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石英气体喷嘴

可选配石英气体喷嘴,将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,可有效减少副反应发生,实现高端CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺(ALC CVD)或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
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尺寸

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应用

● 此款设备可用于多种实验,以下列出了几种实验方法
   RTE(快速热蒸发):蒸发料放在坩埚中,放入到炉体中心,基片放在样品台上,样品台与热电偶相连接,然后将样品台移动到理想的位置(此位置温度是实验所需要的温度)
   HPCVD(混合物理化学沉积):与RTE相似,但需配混气系统,对反应气体混合并控制流量,同时也需设定蒸发料的位置(确定蒸发料的蒸发温度) 

   水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体:将样品和籽晶放入到坩埚中,并将坩埚放入到炉体中心位置,然后设定坩埚移动速度,慢慢移动坩埚。

应用注意事项 ● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载(中国)有限公司选购减压阀,雷速体育app官方下载(中国)有限公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 。
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。 
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 。
● 石英管的长时间使用温度<1100℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
质量认证

所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证 ,若客户出认证费用,雷速体育app官方下载(中国)有限公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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