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GSL-LCD 多通道质子流量计控制系统

应用范围:GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,所以在与雷速体育app官方下载(中国)有限公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。 

产品型号 :GSL-LCD 

上架时间 :2018-07-09 

安装尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,所以在与雷速体育app官方下载(中国)有限公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

 性能指标和基本配置
功能 双通道 三通道 四通道 五通道
质子流量控制器

工作温度:5~45ºC  
最大压力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
重复精度: ±0.2%F.S.

流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
最大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
最大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
最大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

输入电源

AC 220V/50Hz单相

功率

23W

PLC触摸屏

● 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
● RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制
1 1

机械压力表

● 有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接
● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针阀

316 不锈钢

通气管道

● 内部连接管道为1/4”不锈钢管
● 外部通气管道为1/4”聚四氟管
1

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

● 316不锈钢针阀
● Φ1/4” 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

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质量认证

CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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