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GSL-3F 混气系统3路浮子

应用范围:这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。产品型号 :GSL-3F

上架时间 :2018-07-09

安装尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

重量:约75 Kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

 性能指标和基本配置
浮子流量计

● 三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%
● A:10 - 100mL/min
● B:16 - 160mL/min
● C:25 - 250mL/min

机械压力表(混气罐)

-0.1-0.15 Mpa

接头和气管

● 在混气系统右侧安装三个气体进口
● 两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管(请参考说明书,也可另行定制,详情请咨询销售)
● 两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一路混合气体和一路单独的气体)
● 12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头

真空针阀

● 采用ss304不锈钢
● 安装在混气系统的右侧

安装带刹车的转向轮

外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

净重

约75 Kg

可选

CVD或者PECVD            液相气体发生器

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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