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OTF-1200X-5S 1200℃小型单温区大口径开启式管式炉

应用范围: OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

产品型号:OTF-1200X-5S

上架时间 :2018-07-05

安装尺寸:炉盖关闭时: 960mm(L) × 500mm(W) × 450mm(H)

炉盖打开时: 960mm(L) ×660mm(W) × 710mm(H)

控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W) × 360mm(H)

重量:48Kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

 性能指标和基本配置
主要参数 ● 最高工作温度:1200℃(<0.5小时)
● 连续工作温度:1150℃
● 建议加热速率:10℃/min
● 功率:3KW
● 电压:AC 220V 50Hz
炉体结构 ● 双层壳体结构
● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性
● 此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料)
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加热区 ● 加热区长度:300mm
● 恒温区长度:(参考值)
● 100 mm (+/-1ºC )
● 140 mm (+/-2ºC )
注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考,不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系。
温控系统 ● 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
● 带有超温和断偶保护
● 可选购MTS02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序
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加热元件 掺钼铁铬铝合金
炉管 ● 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mm(L)
● 配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性
● 可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空
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真空密封法兰 ● 配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封
● 右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵
● 左端法兰上安装有机械压力表,接口为1/4英寸卡套接头,用于连接气瓶
● 真空度:10-2torr (采用机械泵)
● 可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架
● 水冷法兰通入冷却水后,设备最高温度可以达到1100℃(<1小时)
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真空泵连接 &可选 ● 您可能需要在真空端部安装一个真空阀
● 您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子。
加入真空泵等可选模块
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真空压力表 ● 安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MPa
● 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr
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铠装热电偶(可选) ● 可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度
● 可选购一个法兰支撑架,防止炉管转动
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外形尺寸 ● 炉盖关闭时: 960mm(L) × 500mm(W) × 450mm(H)
● 炉盖打开时: 960mm(L) ×660mm(W) × 710mm(H)
● 控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W) × 360mm(H)
净重 48Kg
认证 CE认证(标准模块不变)
质保期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

应用注意事项 ● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载(中国)有限公司选购减压阀,雷速体育app官方下载(中国)有限公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。
● 石英管的长时间使用温度<1100℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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  • OTF-1200X-5S 小型大口径开启式管式炉(英文版操作视频)

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