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 微型PECVD系统

应用范围:这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。 

上架时间 :2018-07-05 

安装尺寸:等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D 

                 温控盒: 4"H x 10"W x 8"D 

                 移动架:600 x 600 x 600mm 

重量:70 lb (包含真空泵)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

 性能指标和基本配置
等离子源

● 等离子体射频电源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
● 输出频率: 13.56 MHz
● 三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W 和 18W (可调节)
● 腔体尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L
● 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr(用机械泵)

滑动法兰

● 有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出。
● 样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

加热圈和温控系统

● 加热圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400℃
● 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以减小热量损失
● 温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为: +/-1ºC,输入电源: AC 220V
1

两通道混气系统

● 混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM
● 三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa,
● 混气箱上安装有304不锈钢针阀
● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
● 混气箱尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
● 净重: 14 lbs.

真空和气体接口

标准的真空配置有 :
● 一套3"的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)
● 一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍
● 一个数字式真空显示计
● 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2, Ar, Air ,以及各种混合性气体。
● 可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处
(注意:不可通入易燃易爆性气体)

真空泵

● 仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min。
● 进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr

移动架

设备中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面

仪器尺寸

●  等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D
●  温控盒: 4"H x 10"W x 8"D
●  移动架:600 x 600 x 600mm

重量

70 lb (包含真空泵)

质量认证

CE Certified
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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