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OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统

应用范围:OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等离子增强双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵以及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的改性处理工艺中(如:粉体掺杂(空穴、间隙原子)、表面改性、表面包覆、制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。 

产品型号 :OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 

上架时间 :2018-07-05 

安装尺寸:1400mm L x 600mm W x 1240mm H 

重量:90kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等离子增强双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵以及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的改性处理工艺中(如:粉体掺杂(空穴、间隙原子)、表面改性、表面包覆、制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。

 性能指标和基本配置
结构特点

● 炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出
● 300W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度
● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性
● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控

工作电源

● AC208-220V,50/60Hz
● 总功率:4KW

双温区回转炉

● 最高温度:1100ºC(< 2h) 连续工作温度:1000℃
● 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统
● 输入功率:208-240V,单相,功率:1.5KW
● 加热区长度:200mm,两温区,每个温区:100mm
● 回转炉旋转速度:0-5 rpm
● 炉体可倾斜角度:0-30℃
● 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管

等离子射频电源

● 输出功率:5-300W可调(稳定性:±1%)
● 射频频率:13.56MHz(稳定性:±0.005%)
● 最大反射功率:100W
● 匹配:自动匹配
● 射频输出端口:50Ω、N型
● 噪音:<50dB
● 冷却: 空气冷却
● 电源: 110 -240VAC, 50/60Hz

石英管

● 高纯异形石英管
● 尺寸:φ50mm*1100mm L
● 回转部分:φ60mm x 170mm L

密封法兰

● 一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头)
● 磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用,避免卷绕
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真空泵

● 双级真空泵包含在设备中,请点击图片了解详细参数
● F25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
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4通道质子流量计控制系统

4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)
流量范围:
●  一路: 0~100 SCCM
●  二路: 0~200 SCCM
●  三路: 1~200 SCCM
●  四路: 1~500 SCCM
●  电压:208-240V AC 50/60Hz
●  气体进出口配件:6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
●  不锈钢针阀用于手动控制气体进出
●  PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

循环水冷机

标配KJ-5000循环水冷机,水流速率:16L/min
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尺寸和重量

●  1400mm L x 600mm W x 1240mm H
●  净重:90kg

应用注意事项 ●炉管内气压不可高于0.02MPa
●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载(中国)有限公司选购减压阀,雷速体育app官方下载(中国)有限公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
●石英管的长时间使用温度<1100℃
●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
质量认证

所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证,如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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