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TF-1200X-PESDFG-50 双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱

应用范围:OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统,并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

产品型号 :OTF-1200X-PESDFG-50 

上架时间 :2018-07-04 

安装尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       TF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统,并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

 性能指标和基本配置
结构特点

● 两个炉体在一个滑轨上面,和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果
● 连续工作温度:1100℃
● 两个炉体都可以设置30段升降温程序

等离子射频电源

● 输出频率: 13.56 MHz ±0.005%
● 最大射频功率: 500W
● 匹配: 自动匹配
● 噪音: <50 dB.
● 冷却: 空气冷却.
● 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

真空系统

● 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
● KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连。
● 管内真空可达10E-2 Torr

质量流量计混气系统

● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.
● MFC1范围:  0~100 sccm
● MFC2和3:   0~200 sccm
● MFC4范围:  0~500 sccm
● 一个混气罐,底部装有泄废液口.
● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.
● 进气口: 4个1/4NPS.
● 出气口: 4个 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制
● 可选购气液混合装置,用于CVD系统
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炉管&密封法

●  高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
● 配有一套不锈钢密封法兰,并且上面安装有真空计
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防腐型真空计

● 输入电源   24V,1A  DC(配有一电压转换器)
● 测量范围   3.8x10-5 -1125 Torr.
● 数据显示   数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr
● 接头 KF16 接头
● 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循环手套箱

● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
● 带有除水系统:保持水含量< 2 ppm
● 一真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管相连接
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质量认证

所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证,如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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