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OTF-1200X-II-PEC4 1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统

应用范围:OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统以及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆(如:制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。 

产品型号 :OTF-1200X-II-PEC4 

上架时间 :2018-07-04 

安装尺寸:炉体:2800mm L x 800mm W x 1700mm H, 

                 供气系统:600mmL x 700mm W x 700mm H 

重量:180kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统以及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆(如:制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。

 性能指标和基本配置
结构特点

● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸。
● 300W射频电源(13.56MHz)可实现等离子增强从而显著降低实验温度 。
● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性。
● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控。
● 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段。
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双温区回转炉

● 最高温度:1200ºC(< 1h) 连续工作温度:1100℃
● 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统。
● 输入功率:208-240V,单相,最大功率:2.5KW
● 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗
● 回转炉旋转速度:2-10rpm
● 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管
● 两温区:每个温度长度为200mm,总温区长度为400mm
● 恒温区长度:200mm(两温区设置为同样温度时)

等离子射频电源

● 输出功率:5-300W可调(稳定性:±1%)
● 射频频率:13.56MHz(稳定性:±0.005%)
● 最大反射功率:100W
● 匹配:自动匹配
● 射频输出端口:50Ω、N型
● 噪音:<50dB
● 冷却: 空气冷却
● 电源: 208 -240VAC, 50/60Hz
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蒸发舟

● 最高工作温度:1300℃(<1h),长期使用温度:1200℃(当管内温度达800℃时,蒸发舟温度可达1500℃)
● 0.7mL氧化铝坩埚(由钨丝加热圈包围)
● S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的精确测温
● 500W直流电源,最大电流可达30A
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石英管

● 标准4英寸高纯异形石英管
● 两端直径为60mm,中间直径为100mm
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密封法兰

● 一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头)
● 磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用,避免卷绕
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旋转速度

0-5rpm可调

炉体可倾斜角度

0~30°

真空泵及真空表

● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中,请点击图片了解详细参数
● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
● 真空度可达10-2Torr
注:可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
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4通道质子流量计控制系统

4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)
流量范围:
● 一路: 0~100 SCCM
● 二路: 0~200 SCCM
● 三路: 1~200 SCCM
● 四路: 1~500 SCCM
● 电压:208-240V AC 50/60Hz
气体进出口配件:
● 6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出
● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
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温度控制

● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制
● 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
● 采用K型热偶,控温精度+/- 1℃
● RS485通信端口。
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容积式进料器(可选)

● 可选配EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器,包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料,从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理。
● 2L不锈钢收集桶安装在右侧,可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集(标配中包含)。
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产品尺寸

2800mm L x 800mm W x 1700mm H,供气系统:600mmL x 700mm W x 700mm H

产品重量

180kg

应用注意事项 ●炉管内气压不可高于0.02MPa
●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载(中国)有限公司选购减压阀,雷速体育app官方下载(中国)有限公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
●石英管的长时间使用温度<1100℃
●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
质量认证

所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证,如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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