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OTF-1200X-50-4CLV-PE 4路质子混气管式PECVD系统

应用范围: 为使化学反应能在较低的温度下进行,常利用等离子体的活性来促进反应,这种方法称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。加热炉设备的内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可提高设备的加热效率,同时也可延长设备的使用寿命。

产品型号:OTF-1200X-50-4CLV-PE

上架时间 :2019-03-10

安装尺寸:2080mm*700mm*1520mm


产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       为使化学反应能在较低的温度下进行,常利用等离子体的活性来促进反应,这种方法称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。加热炉设备的内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可提高设备的加热效率,同时也可延长设备的使用寿命。

 性能指标和基本配置
设备名称 4路质子混气管式PECVD系统—OTF-1200X-50-4CLV-PE
外形尺寸 长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm
炉管规格 外径: 100mm
内径: 96mm×长: 1800 mm
加热炉主要参数 ● 最高温度: 1200℃
● 额定工作温度: 1100℃
● 推荐升温速率:≤10℃/min
● 加热区长度: L总:440mm(双温区包括隔环)
                     温区一:200mm
                     温区二:200mm
● 加热炉额定功率:3KW
● 滑动方式:电动控制
● 滑动最大行程:600mm
● 电压:单相AC 208 - 240V, 50HZ
温控系统 ● 欧陆EPC3000仪表
● 模糊PID控制和自整定调节功能
● 智能化24段可编程控制
● 带过电流过电压保护 漏电保护
● 电气元件及电缆,冷压端子均符合UL认证标准
● 控温精度: ±0.1℃
● 控温:K型热电偶两根
● 通讯协议:modbus RTU
软件控制 ● 可视化运行状态监控
● 温控系统,气路系统,真空系统,射频系统,滑动炉体,开合炉体,压力控制,全自动化,
● 数据记录、过程记录集成一体
● 预制工作流程,一键自动运行
● 具有恒压功能,可以设定气体流量和恒定压力
● 压力控制:采用TRP-12(抽速3L/s)的双旋真空泵,在总进气量为100-150sccm,管内压力为 100-130pa,如总进气量高于150sccm时,请更换抽速更高的泵,测试为总进气量为1L/min(满足四路质量流量计全开状态时),使用VRD-60泵(抽速18L/s),最高真空为120-130pa(满足起辉条件),可在任意供气量下设定任意气压值(该气压值需大于搭配泵体的最大真空值),气压值可自动稳定
新式快捷法兰 可方便快速取放物料
射频电源 ● 500W射频电源
● 0--500W可调(稳定性±1%)
● 射频频率:13.56MHZ
● 自动匹配 风冷
● 噪音<50dB
● 输入电压:AC108-250V
供气系统 ● 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)
● 流量范围:一路0-100 sccm
                     二路0-200 sccm
                     三路0-200 sccm
                     四路0-500 sccm
注:接入供气系统的气源需搭配减压阀,将气压降至2mpa以下
真空系统 ● 搭配TRP-12的双旋真空泵(抽速3L/s)(总进气量小于150sccm,该泵可以达到等离子发生真空度)
● 搭配TRP-60双旋真空泵(抽速10L/s)(总进气量1L/min,该泵可以达到等离子发生真空度)
● KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵
● 真空度可达10-²Torr
备注 注:采用氩气高于射频功率200w情况下,需特殊说明,设备需要特殊改造及测试,(有法兰过热情况)
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