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GSL-1700X-HVC9 1700°C九通道混气高真空CVD系统

应用范围:GSL-1700X-HVC9是经过CE认证的80mm直径氧化铝管式炉,带有真空泵系统(最高10^-5 torr)和9通道精密数字质量流量计,可控制九种类型的气体用于CVD或扩散,并可以工作到1700℃。 

产品型号 :GSL-1700X-HVC9 

上架时间 :2018-07-02 

安装尺寸:炉体:550 x 380 x 520 

                 底部壳体:600x600x597 

净重:约100Kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       GSL-1700X-HVC9是经过CE认证的80mm直径氧化铝管式炉,带有真空泵系统(最高10^-5 torr)和9通道精密数字质量流量计,可控制九种类型的气体用于CVD或扩散,并可以工作到1700℃。

 性能指标和基本配置
炉体结构

● 双层钢外壳,带空气冷却。
● 内部有两个冷却风扇,以保持外壳温度<55oC。
● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命
● 高纯度氧化铝耐火室
● 真空和气体混合系统位于底部带有4个轮子的移动推车。
● 包括真空法兰,仪表,阀门,管道和高真空泵,可立即使用。

功率

6 Kw

电压

AC 208-240V单相,50/60 Hz

加热元件

8 pcs1800°C级MoSi2

最高温度

1700 °C(<1小时)

连续温度

1600 °C

最高加热率

≤5 °C /min

管尺寸和材料

优质氧化铝管美国制造:
●(标配尺寸)(60mm)O.D.x I.D. (54毫米)x 1000毫米长度
●(选配尺寸)(80mm)O.D.x I.D. (74毫米)x 1000毫米长度
●安装两对SS调节支架,以避免管在高温下弯曲。
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加热区

● 加热区长度:457毫米(18")
● 恒温区长度:150 mm(6“)(+/- 1°C)
注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

温度控制器

● 一个精密数字温度控制器,可编程50段。
● PID可调,具有自动调谐功能,可确保温度稳定在+/- 1 oC范围内。
● 在每个控制器中提供全面保护,以防止温度过高和热电偶损坏。

热电偶

内置B型热电偶

真空法兰

● 两个不锈钢法兰,带真空软管和气体接头管。
● 一个法兰安装有KFD-40适配器和球阀。
● 双层高温硅胶O型圈,可在300oC以下使用。
● 包括多孔氧化铝块以保护法兰免受热辐射。

真空泵

牵引式安装在底壳中的真空泵:
● 一个双步旋转叶片高速机械真空泵 - T2XZ-4C110最大 真空压力为10-2torr。
● 一个涡轮分子泵,最大。 真空压力为2x10-5torr
● 安装一个精密真空传感器。
● 包括不锈钢软管用于连接管式炉。
● 安装数字真空计/控制器。

真空传感器和显示器

● 真空传感器安装在管式炉上的真空法兰上,并连接到数字真空压力显示器。
● 真空控制器和显示器安装在底部移动推车中。
1

气体流量计用户手册

● 9个精密质量流量计(CS200)控制器安装在底部移动推车中,数字显示面板为满量程的+/- 1%(精度在满量程的35%-100%范围内)
● 3 MFC,范围0 - 1000scc
● 3 MFC,范围0 - 200scc
● 3 MFC,范围0 - 10 scc
● 将安装一个浮动仪表,仅用于N2气体
● 一个机械压力计安装在底部移动推车中,用于监测混合器中每种气体的压力。
● 9质量流量MFC控制面板/显示器带拨号按钮,可调节气体流量。 请看下面的图片。
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软件和界面
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管道连接&阀门和气体混合器

● SS 316 1/4“管/配件
● SS 316真空针阀
● 移动机柜右侧面板外安装21套不锈钢真空阀,分别控制,真空泵,流动气体和两种进气。
● 请点击此处查看管道连接示意图。
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外形尺寸

炉体:550 x 380 x 520 底部壳体·:600x600x597

净重

约100Kg

装运重量

200 Lbs

质量认证 1CE certified
保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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