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OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃单温区三通道混气CVD系统

应用范围:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr. 

产品型号 :OTF-1200X-80-I-F3LV 

上架时间 :2018-07-01 

安装尺寸:炉体: 550 x 380 x 520mm 

                 混气系统: 600x600x597 mm 

重量 :约60kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.

 性能指标和基本配置
高温炉壳体

● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃
● 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

2.5 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

最高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

最快升温速率

≤20 ℃

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热元件 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)
加热区长度 400 mm
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
真空密封系统

● 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min
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真空泵

● 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

防腐型真空计

● 雷速体育app官方下载(中国)有限公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

混气系统

● 三个浮子流量计
● 三路浮子量程分别为
● 10-100 cc/min.
● 16-160 cc/min.
● 25-250 cc/min
● 内部安装有一混气罐

产品净重

约60kg

运输重量

200kg

外形尺寸

● 炉体:550 x 380 x 520mm
● 混气系统: 600x600x597 mm

开门断电

● 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
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应用注意事项

●炉管内气压不可高于0.02MPa
●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载(中国)有限公司选购减压阀,雷速体育app官方下载(中国)有限公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
●进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
●石英管的长时间使用温度<1100℃
●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

质量认证

CE Certificate
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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