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OTF-1200X-S50-2F 1200℃微型二通道混气CVD系统

应用范围:OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 ℃ 。 

产品型号 :OTF-1200X-S50-2F 

上架时间 :2018-06-28 

安装尺寸:炉体:340 x 300 x 400mm 

                 真空泵:440 x 160 x 300mm 

                 混气系统: 340 x 300 x 180mm 

重量 :100 lbs

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 ℃ 。

 性能指标和基本配置
炉体结构

● 采用双层壳体
● 炉膛采用多晶氧化铝纤维,最大程度减小能量损失
● 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

1.75KW

电压

AC -220V

温度

● 最高工作温度:1200℃(< 1hr)
● 连续工作温度1100 ℃
● 升温速率 <= 10C/min

炉管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加热区

加热区长度: 8" (200mm)

温控系统

● PID30段程序化控温
● 控温精度: +/- 1℃

加热元件 掺钼铁鉻铝(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)
两路混气系统

● 两个浮子流量计量程为16 —100mL/min
● -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
● 三个机械压力表:-0.1-0.15 MP
● 混气箱上安装有一不锈钢针阀
● 后端装有φ6.35卡套接头,无需通电
● 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
● 净重: 14 lbs
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真空法兰和配件

结构
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标准真空配件:
● 一个防腐型真空计
● 一个φ6.35的卡套接头
● 两个KF25转接头
● 一个600mm的不锈钢波纹管

防腐型真空计

雷速体育app官方下载(中国)有限公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
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真空泵

雷速体育app官方下载(中国)有限公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电雷速体育app官方下载(中国)有限公司销售
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产品净重

100 lbs

运输重量

200 lbs

外形尺寸

● 炉体:340 x 300 x 400mm
● 真空泵:440 x 160 x 300mm
● 混气系统: 340 x 300 x 180mm.

开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
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应用注意事项 ● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载(中国)有限公司选购减压阀,雷速体育app官方下载(中国)有限公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度<1100℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,● 以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


质量认证

所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/CE认证
若客户出认证费用,雷速体育app官方下载(中国)有限公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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